T31.Z150压电扫描台是专门为大负载、大位移客户提供的一款扫描台；它的负载重量可达4.5Kg,位移量可达150μm；可以作为Z向升降聚焦扫描对准的自动化移动平台；可用于显微镜对焦、光干涉、生物分析、光学调整等应用；

　　产品特点：

　　最大位移150μm

　　最大承载4.5kg

　　中心通孔φ25~φ50mm

　　闭环重复定位精度

　　开/闭环可选

　　典型应用领域：

　　1、扫描显微

　　2、共焦显微

　　3、晶圆定位

　　4、表面测量图像处理与稳定

　　5、半导体测试

　　6、样品扫描分析定位

实物参考图

　　T31.Z150产品尺寸图：