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T31.Z150压电扫描台

所属分类:压电扫描台
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  • 技术参数
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  T31.Z150压电扫描台是专门为大负载、大位移客户提供的一款扫描台;它的负载重量可达4.5Kg,位移量可达150μm;可以作为Z向升降聚焦扫描对准的自动化移动平台;可用于显微镜对焦、光干涉、生物分析、光学调整等应用;


  产品特点:

  最大位移150μm

  最大承载4.5kg

  中心通孔φ25~φ50mm

  闭环重复定位精度

  开/闭环可选


  典型应用领域:

  1、扫描显微

  2、共焦显微

  3、晶圆定位

  4、表面测量图像处理与稳定

  5、半导体测试

  6、样品扫描分析定位

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实物参考图

  T31.Z150产品尺寸图:


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