T21系列纳米定位台作为典型的放大机构平移台,采用了无回差机构放大设计原理,零摩擦铰链导向结构,提供了超高的定位精度;此平移台可以选择一维到三维运动方式,标准行程为80um,可定制行程到300um。
此平移台分为开闭环版本,开环动态性能较好,适用于动态扫描应用,闭环版本定位精度较高,适用于精密定位应用,配置C51.MS1/C51.S1/C60.MS3等系列闭环压电控制器可以实时对位移进行精密调整,实现纳米级的精密定位控制。
纳米定位
生物技术
质量保证测试
微加工/精密控制
产品参数表:
实物参考图
外形尺寸图:
推荐控制器: