T22系列压电纳米平移台以压电陶瓷为驱动核心部件，柔性铰链直驱结构设计，可以选择一至三维（X/Z/XY/XZ/XYZ）运动的压电位移平台，响应时间可达毫秒级、定位精度可达纳米级，平移台分为开环和闭环两种，开环可提供高动态，高频响的性能，闭环可用于超高精密定位的要求。该产品已经应用到多方领域，比如像素补偿，激光对准，光路修正、超精密加工定位等领域。

　　产品特点：

　　直驱机构

　　亚毫秒响应时间

　　承载能力5kg

　　产品参数表：

实物参考图

　　整体外形尺寸图：

　　T22.Z30尺寸图：

　　T22.X30尺寸图：

　　T22.XY30尺寸图：

　　T22.XYZ30尺寸图：