T23系列压电纳米平移台为直驱机构的小体积压电定位平台,提供1至3维(X/Z/XY/XZ/XYZ)的运动方向选择,它的主要的特点是体积小巧,三维运动版本的尺寸仅为40×40×40mm,易于集成到超精密定位仪器中。同时还具有超快的响应速度,阶跃响应时间可达0.3ms,可以配合高精度传感器来提高平移台的定位精度;AFM、SPM、STM等显微扫描操作非常适合应用此平移台;
产品特点:
1~3维自由选择
亚毫秒响应时间
位移行程8μm
最大承载0.8kg
重复定位精度可达纳米级
产品参数表:
实物参考图
T23系列产品尺寸图: